http://warm-ir-heater-craft.com/de/tags/post/ Recent content in Post on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo de Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/de/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/de/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Heizer zum Trocknen der CMP Wafer nach der Bearbeitung"></p> <p>Bei der Trocknung nach dem CMP-Prozess führen Wasserzeichen sowie die erneute Ablagerung von Partikeln weiterhin zu Produktionsverlusten. In den meisten Fällen liegt das Problem in einem instabilen thermischen Profil während des Trocknungsprozesses. Wir haben unseren Heizer für das Trocknen der Wafer nach dem CMP so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten beseitigt werden – anstatt sie noch zu <a href="https://o-yate.com">verst</a>ärken.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir verwenden Kurzwell-Infrarotelemente hinter einer Quarzscheibe. Dadurch trifft die Energie direkt und schnell auf das Wafer – ohne dass sie den Untergrund überschreitet. In der aktiven Zone halten wir eine Homogenität der Temperatur auf einem Niveau von ±0,1 °C auf. Die Wiederholgenauigkeit bleibt konstant, da eine kalibrierte Schließschleifensteuerung die eingestellte Temperatur in Echtzeit überwacht. Der Heizer eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass keine Partikel mehr entstehen, sobald ein stabiler Zustand erreicht ist.</p>