TEL (Tokyo Electron) Heizlampe

Fri, 26 Jun 2026 02:05:43 +0800

Im Betrieb zeigt sich die thermische Drift nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen zeigt sie sich als Fehler im Bereich von 0,3 μm in der Linienbreite, als Überdeckung der Ränder des Photoresists oder als Verformung des Gehäuses – was wiederum dazu führt, dass der gesamte Träger beschädigt wird. Bei der Trocknung der Wafer, bei der Behandlung des Photoresists sowie bei der Verpackung ist die Heizlampe nicht nur eine Quelle von Wärme – sie ist vielmehr ein Prozessinstrument. Wenn die Lampe nicht richtig funktioniert, leiden sowohl die Qualität als auch die Betriebszeiten.

Elektron) on Handcrafted Warm IR Heaters

TEL (Tokyo Electron) Heizlampe