Giảm lượng khí thải carbon trong nhà máy sản xuất bán dẫn: Tại sao việc sử dụng ống chiếu tia hồng ngoại được phủ vàng lại hiệu quả?
Nếu bạn từng làm việc trong các nhà máy sản xuất bán dẫn, chắc hẳn bạn biết rõ những khó khăn liên quan đến việc kiểm soát nhiệt độ. Nếu không làm đúng cách, các tấm wafer sẽ bị biến dạng. Đó thực sự là một cơn ác mộng. Hầu hết chúng ta đều từng sử dụng những lò sưởi thông thường để gia nhiệt, nhưng thực ra chúng chỉ là những thiết bị tiêu hao rất nhiều năng lượng mà thôi.
Chúng tôi đã tìm ra một giải pháp tốt hơn.
Bí quyết nằm ở việc sử dụng vàng
Cách thức hoạt động của thiết bị này là: chúng ta sử dụng các ống thủy tinh và phủ lớp vàng bên trong chúng. Tại sao lại chọn vàng? Bởi vì vàng có tính chất như một tấm gương; nó giúp chuyển hướng toàn bộ bức xạ hồng ngoại về phía tấm wafer. Nhờ đó, chúng ta có thể tập trung nguồn nhiệt vào đúng vị trí cần thiết.
Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng thiết kế hai ống để gia nhiệt. Bằng cách sử dụng hai bộ phận gia nhiệt trong cùng một không gian, chúng ta có thể tăng công suất gia nhiệt mà không cần phải sử dụng những bóng đèn lớn hơn. Quá trình gia nhiệt diễn ra rất nhanh. Quy trình sản xuất sẽ ổn định ngay lập tức.
Một số điều cần lưu ý
Đây không phải là thiết bị có thể sử dụng một cách đơn giản. Vì những bóng đèn này có công suất rất cao, nên nguồn điện cung cấp cũng cần phải đủ mạnh để đáp ứng nhu cầu này. Hơn nữa, vì chúng tỏa ra nhiệt rất lớn, nên chúng ta cần sử dụng quạt làm mát hiệu quả. Nếu dòng khí không đủ mạnh, chúng ta có thể làm hỏng các bộ phận của thiết bị. Đây là một công cụ mạnh mẽ, nhưng chúng ta cần phải xử lý nó một cách cẩn trọng.
Thực sự đạt được mục tiêu “xanh”
Chúng ta thường nói về việc giảm lượng khí thải carbon, nhưng việc này rất khó thực hiện trong các nhà máy sản xuất bán dẫn. Điều tuyệt vời nhất là việc loại bỏ thời gian cần thiết để gia nhiệt. Thay vì giữ cho buồng gia nhiệt ở nhiệt độ cao suốt 24/7, chúng ta chỉ cần kích hoạt quá trình gia nhiệt ngay khi tấm wafer được đưa vào buồng. Đó là sự thay đổi từ việc gia nhiệt toàn bộ buồng sang việc gia nhiệt chỉ ở vị trí cần thiết. Nhờ đó, chúng ta có thể sử dụng ít năng lượng hơn, giảm chi phí điện năng, và giảm lượng khí thải carbon. Tất cả những điều này mà không cần phải làm chậm quy trình sản xuất.