İnce film güneş pillerinde, termal değişimler için yer yoktur. Foto direnç işleminde meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik, stresi artırır, erime sürecini değiştirir ve cihazın verimliliğini düşürür. Bu yüzden sıcaklığı kontrol edilebilir bir değişken olarak ele alan bir kurutucu lambaya ihtiyaç vardır.
Teknik açıdan önemli olanlar
Kurutucuyu, organik maddelerin ve ince film yapılarının nasıl ısıyı emdiğine göre ayarlanmış kısa dalga boylu kızılötesi yayıcılar kullanarak tasarladık. Böylece hızlı ve homojen bir ısıtma sağlanır; bu sayede çözücüler zarar görmeden uzaklaştırılır. Çipin tüm yüzeyinde aktivite bölgesinde sıcaklık ±0,1°C civarında sabit kalır; böylece litografi sonrasında kritik boyutlar belirlenen standartlarda kalır.
Temiz oda uyumluluğu
Kullanılan malzemeler Class 1–100 standardlarına uygundur; gaz salınımı yoktur ve ısı dağılımı, parçacıkların prosese girmesini engeller. Tekrarlanabilirlik ise kapalı döngü kontrolü sayesinde sağlanır; böylece her seferinde aynı sıcaklık profili elde edilir.
Neden burada işe yarıyor?
İnce film güneş pillerinin termal kapasitesi oldukça sınırlıdır ve varyasyon payı bile filmlerin kendisinden daha azdır. Bu lamba, işlem sırasında gereken sıcaklıkları tam olarak korurken, ısıtma süresini de optimize eder.
Bilinmesi gerekenler
Boyutları küçüktür, ancak ısı yükü yüksektir. Emitter dizisini mevcut egzoz ve soğutma sistemlerine bağlayın; böylece ±0,1°C’lik stabilite aralığı korunabilir. Isınma süresi kısadır, stabilize olma süresi hızlıdır ve ardından cihaz istikrarlı bir şekilde çalışır. Lambayı cihaz arayüzüne ve substrat yapısına uygun şekilde ayarlayın; böylece proses istikrarlı kalır.