ในขั้นตอนการอบแผ่นวงจร แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็อาจส่งผลให้ขนาดของวงจรเปลี่ยนแปลงไปถึงระดับนาโนเมตร ซึ่งอาจทำให้ชิ้นงานที่มีคุณภาพดีกลายเป็นชิ้นงานที่ไม่สามารถใช้งานได้ ดังนั้น เราจึงต้องควบคุมอุณหภูมิให้แม่นยำมากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ โดยเราได้ออกแบบเซ็นเซอร์อุณหภูมิมาเพื่อตอบสนองความต้องการนี้โดยเฉพาะ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เรากำหนดค่าความแม่นยำของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ภายในช่วงอุณหภูมิที่ใช้ในกระบวนการผลิตโฟโตรีซิสต์ เพราะค่าความคลาดเคลื่อนที่ยอมรับได้ของกระบวนการนี้อยู่ในช่วงนี้พอดี เซ็นเซอร์นี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดเชื้อระดับ Class 1–100 และยังถูกออกแบบมาให้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลย ดังนั้นจึงไม่ขัดขวางความสะอาดที่เราพยายามรักษาไว้ เซ็นเซอร์นี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน และยังสามารถให้ข้อมูลที่แม่นยำเพื่อใช้ในการควบคุมกระบวนการผลิตได้อีกด้วย
เหตุใดเซ็นเซอร์นี้จึงสามารถทำงานได้ดีในสภาพการใช้งานจริง ในกระบวนการอบแบบอ่อนและแบบแข็ง เซ็นเซอร์นี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิให้คงที่ ทำให้สารละลายสามารถออกไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ และทำให้โครงสร้างของวงจรมีความสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นอบยังช่วยลดความแปรปรวนของขอบวงจร และทำให้รูปร่างของวงจรมีความแม่นยำมากขึ้น
นั่นหมายความว่าจะมีความแปรปรวนของอุณหภูมิน้อยลง ทำให้ไม่จำเป็นต้องแก้ไขชิ้นงานซ้ำๆ และเครื่องมือก็จะทำงานได้อย่างสม่ำเสมอในทุกช่วงเวลา ผลลัพธ์ที่ได้คือโครงสร้างของวงจรมีความสม่ำเสมอ มีอนุภาคน้อยลง และเครื่องมือก็สามารถทำงานได้ตามกำหนดเวลา
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้อง การติดตั้งเซ็นเซอร์จะต้องเหมาะสมกับคุณสมบัติทางความร้อนของเครื่องมือ และช่วงเวลาในการปรับค่าอุณหภูมิด้วย หากตำแหน่งการติดตั้งเซ็นเซอร์ไม่ถูกต้อง ก็อาจทำให้ไม่สามารถตรวจจับความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้
ควรมีเวลาสำหรับการปรับค่าอุณหภูมิให้เหมาะสมกับอุณหภูมิจริงของแผ่นวงจร และควรมีการปรับค่าอุณหภูมิอย่างสม่ำเสมอ เพื่อรักษาค่าความแม่นยำที่ ±0.1°C หากทำได้อย่างถูกต้อง เซ็นเซอร์นี้ก็จะกลายเป็นตัวชี้วัดที่น่าเชื่อถือสำหรับทั้งระบบการอบวงจรได้เลย