Op de productielijn kan een verschil van een halve graad in de baktemperatuur ertoe leiden dat de cruciale afmetingen met enkele nanometers veranderen. Hierdoor kan goedschroot ontstaan. Je kunt de opbrengst niet bepalen door op hoop te rekenen; je moet de temperatuur nauwkeurig controleren, nog nauwkeuriger dan het proces zelf vereist. We hebben onze temperatuursensor speciaal ontworpen voor deze omstandigheden.
Wat technisch gezien belangrijk is
We stellen een stabiliteit van ±0,1°C voor over het gehele bereik van de baktemperatuur dat wordt gebruikt bij het verwerken van fotoresisten. De toleranties van de lithografieprocesen vallen immers binnen dit bereik. De sensor kan worden geïnstalleerd in apparaten die geschikt zijn voor schone kamers van klasse 1–100. De sensor is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd – zodat deze de zuiverheid die je nastreeft niet vermindert. De sensor werkt 24/7 en is ontworpen om ongeplande stilstandsuren te voorkomen. Hij geeft bovendien gegevens die nodig zijn voor statistische procescontrole.
Waarom de sensor in de praktijk werkt
Tijdens het zachte en harde bakken houdt de sensor de thermische condities onder controle. Oplossingen verdwijnen op voorspelbare manier, waardoor het profiel van de fotoresist consistent blijft. De uniformiteit van de warmteafgifte wordt beter, waardoor de variatie aan de randen van het patroon wordt verminderd en de nauwkeurigheid van het patroon toeneemt.
Dat betekent minder afwijkingen, minder herwerkwerk en apparatuur die zich consistent gedraagt, shift na shift. De resultaten zijn duidelijk: stabiele bakprofielen, minder deeltjes en apparatuur die volgens planning werkt.
Wat je moet doen om het goed te doen
De installatie moet overeenkomen met de thermische eigenschappen van het apparaat en het kalibratietijdschema. Als de positie van de sensor niet juist is, kan dit de afwijkingen die je probeert te detecteren verhullen. Verwacht dat het nodig is om de instellingen regelmatig aan te passen, zodat de prestaties rondom ±0,1°C blijven. Als je dit goed doet, wordt de sensor de referentiepunt voor het hele bakproces.