आइए, लैंपों के फटने एवं वेफरों पर होने वाले प्रदूषण के बारे में बात करते हैं।
सेमीकंडक्टर निर्माण की प्रक्रिया में, लैंपों का फटना एक बहुत बड़ी समस्या है। यह केवल हार्डवेयर के टूटने की समस्या नहीं है; बल्कि इसके कारण पैदा होने वाला गंदगी का ढेर भी एक बड़ी समस्या है। जब क्वार्ट्ज ट्यूब भारी भार के कारण टूट जाती है, तो उससे टूटे हुए टुकड़े एवं कण वेफरों पर गिर जाते हैं। यह आपके उत्पादन के लिए बहुत ही नुकसानदायक है।
इसी कारण हम अपने UHP लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि ऐसे प्रदूषणों को शुरू होने से ही रोका जा सके।
गंदगी को नियंत्रित करना
हम सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं। हम इसकी शुद्धता को ऊँचा रखते हैं, ताकि गैस निकलने की समस्या न हो। लेकिन वास्तविक रहस्य तो सुरक्षात्मक कवर है। इसे एक “सुरक्षा जाल” के रूप में ही समझें। यदि लैंप टूट जाता है, तो यह कवर सभी टूटे हुए टुकड़ों को रोक लेता है। इससे आपको पूरे चेंबर की सफाई करने में कई घंटे खर्च नहीं करने पड़ते। इससे आपका समय भी बच जाता है।
फिर वहाँ “सील” भी है… जहाँ लैंप होल्डर से जुड़ता है, वहीं ही समस्याएँ होती हैं। हम ऐसे गैसकेटों का उपयोग करते हैं, जो गर्मी को सह सकें। इससे हवा बाहर नहीं जाती, एवं धूल भी आपके स्वच्छ वातावरण में नहीं आ पाती।
गर्मी का प्रबंधन
तेज़ तापमान में क्वार्ट्ज ट्यूब टूट सकती है। ऐसी स्थितियों से बचने हेतु, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि गर्मी ट्यूब के हर हिस्से में समान रूप से वितरित हो। हम वॉटेज एवं वोल्टेज को ऐसे ही सेट करते हैं, ताकि ट्यूब का कोई भी हिस्सा अपनी सीमा से आगे न जाए।
लेकिन ध्यान रखें कि आपको अपने पावर सप्लाई को भी इन मानकों के अनुसार ही चुनना होगा। यदि आप तापमान सीमा तेज़ी से पूरी करने हेतु लैंप पर अतिरिक्त भार डालेंगे, तो लैंप जल्दी ही टूट जाएगा। इससे लैंप की आयु कम हो जाती है।
समझौता
कुछ भी परफेक्ट नहीं होता। सुरक्षात्मक कवर लगाने से ऊष्मा स्रोत एवं वेफर के बीच एक और परत आ जाती है। इससे इन्फ्रारेड तरंगों का संचरण कम हो जाता है। इसकी भरपाई हेतु आपको अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होगी, या वेफरों को थोड़ी देर और गर्म रखना होगा।
यह तो एक छोटी सी कीमत है… लेकिन एक लैंप के खराब होने के कारण पूरे उत्पादन प्रक्रम पर असर पड़ने से तो यह बहुत ही बेहतर है।