लचीले डिस्प्ले लाइन पर, थर्मल नियंत्रण पर निर्भरता है। एक सॉफ्ट बेक जो 2°C तक भटकता है, CD की समानता को प्रभावित करता है। एक हार्ड बेक जो गर्म या ठंडा चलता है, प्रतिरोध प्रोफ़ाइल को अप्रत्याशित बनाता है, और एच ट्रांसफर खराब हो जाता है। ड्राईंग लैंप केवल एक गर्मी स्रोत नहीं हो सकता - इसे एक उचित प्रक्रिया उपकरण की तरह व्यवहार करना चाहिए।
क्या मायने रखता है: हमने ड्राईंग लैंप को NIR के चारों ओर बनाया, त्वरित, संपर्क रहित हीटिंग के लिए क्वार्ट्ज ऑप्टिक्स के साथ। रोशन क्षेत्र में, वेफर-स्तरीय समानता ±0.1°C बनाए रखती है, इसलिए हर सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक को एक समान थर्मल बजट मिलता है। इसे क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए डिज़ाइन किया गया है: स्थिर संचालन के तहत कम आउटगैसिंग और शून्य कण उत्पादन। लैंप 24/7 चल सकता है जिससे पूर्वानुमानित आउटपुट मिलता है, और पुनरावृत्ति लॉट के बाद लॉट बनी रहती है।
यह लचीले डिस्प्ले फैब में क्यों काम करता है: सब्स्ट्रेट पतले और थर्मल रूप से संवेदनशील होते हैं। लैंप तेजी से बढ़ता है जबकि नियंत्रण पर कड़ा रहता है, इसलिए आप चक्र समय को कम करते हैं बिना स्टैक पर तनाव डाले। फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल स्थिर रहते हैं, जो ओवरले को विनिर्देश के भीतर रखता है और एच क्रिटिकल डायमेंशन नियंत्रण को स्थिर रखता है। ऊर्जा का उपयोग घटता है क्योंकि लैंप केवल लक्षित क्षेत्र को गर्म करता है, और कम रीवर्क लॉट का मतलब कम कचरा है।
यहाँ ध्यान में रखने योग्य बातें हैं। लैंप को एक साफ, स्थिर पावर सप्लाई और इंटीग्रेशन प्वाइंट पर उचित थर्मल प्रबंधन की आवश्यकता है। यह अधिकांश लिथोग्राफी और कोटिंग ट्रैक्स के साथ संगत है, लेकिन आपको इंस्टॉलेशन के दौरान माउंटिंग इंटरफेस और नियंत्रण संकेतों की पुष्टि करनी होगी। सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक व्यंजनों को लॉक करने के लिए एक छोटी कमीशनिंग रन की योजना बनाएं, फिर आप वॉल्यूम बढ़ाने से पहले प्रक्रिया विंडो को योग्य करें।