Pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges recouvertes d’or dans les usines de semi-conducteurs
Lors du traitement des wafers de semi-conducteurs, les besoins en chaleur sont énormes. Nous avons tous entendu parler de « usines vertes » et de neutralité carbone, mais dans la réalité, cela se résume à une chose : cesser de gaspiller de l’énergie. L’objectif est de diriger l’énergie exactement là où elle est nécessaire – c’est-à-dire vers le substrat – sans faire monter en température tout le châssis de la machine.
Le truc avec le revêtement en or
Les lampes en quartz standards génèrent beaucoup de chaleur partout autour d’elles. Pour y remédier, nous ajoutons une fine couche d’or sur le quartz. On peut voir cela comme un filtre : l’or reflète les rayonnements à longues ondes vers le filament, tandis que les rayonnements à courtes ondes passent directement à travers. Ainsi, on obtient un faisceau d’énergie concentré. On ne gaspille plus d’énergie pour chauffer l’air ou la chambre sous vide. En cessant de lutter contre les contraintes environnementales, on réduit sa consommation d’énergie. C’est là la manière la plus simple de diminuer l’empreinte carbone d’une usine de semi-conducteurs.
Puissance, vitesse et risques
Nous concevons ces lampes pour qu’elles offrent une densité de puissance élevée. Elles fonctionnent à haute puissance, car la vitesse est essentielle. Si l’on peut générer de la chaleur rapidement, on réduit les temps de traitement et on évite que les wafers ne se déforment. Des cycles rapides permettent donc d’obtenir davantage de résultats pour chaque kilowattheure consommé.
Mais il y a un problème : une telle intensité génère beaucoup de chaleur locale. Si le système de refroidissement n’est pas suffisant, vous rencontrerez des problèmes graves. Vous verrez alors des connecteurs brûlés ou des supports déformés très rapidement.
Installation et entretien
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles soient faciles à installer. Elles remplacent simplement les systèmes de chauffage existants. Leurs extrémités sont soigneusement découpées afin que la lampe s’intègre parfaitement dans le réflecteur, sans aucun problème.
Mais il faut être extrêmement méticuleux en termes de propreté. Les revêtements en or sont très sensibles : une seule empreinte digitale ou une petite tache d’huile sur le quartz suffit à créer des points chauds. Et des points chauds peuvent endommager la lampe dès la première utilisation. C’est pourquoi nous les expédions dans des emballages propres. Un seul grain de poussière peut tout gâcher.