Warum Infrarotheizung die beste Lösung für Ihre intelligente Fertigung ist
Wenn Sie eine neue intelligente Fertigungsanlage planen, tun Sie sich selbst einen Gefallen: Lassen Sie diese alten Widerstandsheizer hinter sich. Sie sind unpraktisch. Wenn Sie eine Anlage möchten, die tatsächlich mit Ihren Datensystemen kommunizieren kann, dann ist Infrarot die richtige Wahl.
Die Realität der Heizung im Vakuum
Im Vakuum gibt es keinen Luftstrom, durch den Wärme übertragen werden könnte. Die Konvektion funktioniert nicht. Man muss sich vollständig auf Strahlung verlassen.
Unsere Infrarotsysteme verschwenden keine Zeit damit, den ganzen Raum zu erwärmen. Sie heizen direkt das Substrat. Es ist, als würde man einen Scheinwerfer statt eines Flutlichts verwenden. Dadurch wird die Erwärmungszeit erheblich verkürzt – man muss nicht darauf warten, dass die Wände der Kammer Energie aufnehmen, die sie gar nicht benötigen. Die Wärme trifft direkt auf das Wafer, nicht auf die Gehäuse. Einfach.
Intelligente Steuerung
Eine moderne Fertigungsanlage muss in Echtzeit reagieren. Wir entwickeln solche Heizer so, dass sie gut mit PLC-gesteuerten Stromversorgungen zusammenarbeiten. So können Sie die Leistung schnell anpassen.
Sie können ein spezifisches Temperaturprofil für eine bestimmte Charge programmieren und sofort auf ein anderes wechseln. Keine manuelle Justierung mehr nötig. Zudem verwenden wir Hochleistungsfilamente. Dadurch bleibt die Hardware kompakt – Sie haben also genug Platz für Sensoren und Roboterarme.
Die Kompromisse (Das, worüber niemand gerne spricht)
Hochleistungsleuchten sind zwar effektiv, um Dinge schnell zu erhitzen – doch sie belasten die Kühlsysteme stark. Wenn Sie schnelle Durchlaufzeiten anstreben, müssen Sie sicherstellen, dass Ihre wassergekühlten Kühlsysteme mit der entstehenden Wärme umgehen können. Andernfalls gehen die Leuchten früh kaputt oder die Vakuumdichtungen verschlechtern sich. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsaufgaben.
Betrieb der Anlage
Wenn Sie diese Heizer in ein digitales Netzwerk anschließen, wissen Sie genau, wie viel Energie jede Einheit verbraucht. Sie erhalten eine klare Übersicht über jeden Thermzyklus. Das ist eine enorme Verbesserung gegenüber den altmodischen Timern, die einfach auf das Beste hoffen müssen. Endlich können Sie sehen, was eigentlich in der Kammer vor sich geht.