In der Lithografieabteilung verzeiht das EUV-Resist-Verarbeitungsverfahren keine thermischen Abweichungen. Ist die Temperatur beim Weichen des Resists um einen Grad zu hoch? Oder führt die hohe Temperatur dazu, dass es zu Abweichungen auf der Waferoberfläche kommt? Dann geht die Produktivität verloren – und zwar schrittweise, und zwar von Schicht zu Schicht. Die Heizelemente unter dem Resist müssen eine konstante Temperatur liefern, unabhängig von den verschiedenen Schichten sowie Chargen – ohne dass Partikel entstehen oder Stillstände auftreten.
Was wirklich wichtig ist
Wir bauen die Heizelemente für den EUV-Resist um kontrollierte Infrarotquellen herum – Kurzwellen- und Mittelwellenquellen – in Kombination mit Quarzfenstern sowie Halogenelementen, die für eine stabile Spektralstrahlung sorgen. Dadurch wird eine Temperaturregelmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1°C erreicht. Zudem sind die Heizeprofile so gestaltet, dass sie innerhalb der tolerierten Grenzen bleiben. Das Gerät ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien und Oberflächenbeschichtungen sorgen dafür, dass während des Betriebs keine Partikel entstehen. Die Leistungsfähigkeit des Geräts entspricht den geltenden Standards bezüglich Leistung und Spannung. Die Anschlussmöglichkeiten passen zu den vorhandenen Systemen, sodass kein Umstecken erforderlich ist.
Warum das bei EUV-Resist funktioniert
EUV-Resistschichten sind dünn, und der thermische Spielraum ist begrenzt. Präzision ist daher wichtiger als hohe Leistung. Wir halten die Temperatur genau dort, wo es die Prozessvorgaben vorschreiben – nicht dort, wohin die thermischen Abweichungen sie drängen. Dadurch werden kritische Dimensionen besser kontrolliert, es gibt weniger Fehler, und die Produktivität bleibt konstant. Ebenso wichtig ist, dass die Heizelemente rund um die Uhr ohne Unterbrechungen arbeiten können – ohne Hotspots, ohne Interlocks und ohne unerwartete Wartungsarbeiten, die den Betrieb stören würden.
Was Sie planen müssen
Die Installation erfolgt auf Standardsystemen problemlos. Doch die Heizelemente müssen zur Geometrie des Behälters sowie zum Infrarotstrahlpfad passen. Es ist eine kurze Einrichtungsphase notwendig, um die Heizeprofile festzulegen und die Temperaturregelmäßigkeit zu überprüfen. Die Lebensdauer der Heizelemente beträgt in der Regel mehr als 5.000 Stunden – doch eine vorbeugende Kalibrierung ist dennoch notwendig, damit eine Temperaturregelmäßigkeit von ±0,1°C gewährleistet bleibt. Planen Sie diese Kalibrierung daher in Ihren Zeitplan ein – dadurch wird eine konstante Qualität der EUV-Behandlung von Schicht zu Schicht gewährleistet.