V prostředí litografie znamená odchylka teploty o 0,5 °C v průběhu procesu zahřívání posun profilu fotorezisty o několik nanometrů – a tento drobný posun se promítá do snížení výnosnosti procesu. Vyvinuli jsme dvoutrubkovou infračervenou topnou lampu právě pro ty situace, kdy je termální rozsah nezbytný. Tato lampa vyplňuje mezeru mezi obvyklými termickými nástroji a přesností, kterou váš proces skutečně vyžaduje – zajistí tak pravidelné zahřívání právě tam, kde to wafer potřebuje.
Co je důležité uvnitř systému
Systém funguje na základě dvou krátkovlnných infračervených trubic s křemennými obaly, které jsou vybrány pro rychlou reakci a stabilní emisivitu. Reakce probíhá během několika setin sekundy, takže profile teploty zůstávají stabilní během procesu měkkého i tvrdého zahřívání. V osvětlené oblasti zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, a opakovatelnost teploty zůstává konstantní v každém cyklu. Lampová hlava je navržena pro čisté prostory třídy 1–100, přičemž materiály a spoje minimalizují vznik částic. Výkon lampy zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin – pokles výkonu je menší než 5 %. Díky tomu se okno procesu nezměňuje během intervalů údržby.
Proč funguje v procesu zpracování fotorezistu
Při zpracování fotorezistu potřebujete teplo, které přichází rychle, zůstává stabilní a nezanechává žádné pozůstatky. Dvojtrubkový design umožňuje rychlé zahřátí, takže můžete zkrátit dobu zahřívání bez zatěžování filmu. Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, méně oprav a stabilní teplotní profily v celé ploše waferu. Také ušetříte energii, protože lampa se zahřívá pouze podle potřeby a rychle vychladí – bez zbytečných ztrát.
Na co se musíte připravit při instalaci a provozu
Při instalaci je potřeba speciální, izolovaná dodávka elektřiny, stejně jako správné rozestupy při montáži, aby profil zahřívání zůstal tam, kde má být. Lampa funguje s většinou standardních zařízení na litografii a pro procesy nanášení/přehřívání, ale je nutné ověřit integraci na úrovni samotného zařízení, pokud jde o vzájemné propojení, mapování senzorů a bezpečnost. Provoz v nízké vlhkosti zlepšuje dlouhodobou stabilitu; v vlhkém prostředí je potřeba zajistit správné odvádění vzduchu, aby se na křemenném obalu nevytvářela kondenzace.